Analytik
Rückstreuelektronensignale (BSE), charakteristische Röntgen- und Kathodolumineszenzsignale (CL) werden verwendet, um unterschiedliche Informationen über die Probe zu erhalten. Röntgenstrahlen werden zur chemischen Charakterisierung der Probe verwendet. CL und BSE werden verwendet, um strukturelle und chemische Informationen aus dem analysierten Material zu extrahieren.
Energiedispersive Spektrometrie (EDS)
Die energiedispersive Spektrometrie (EDS) ist eine Methode zur schnellen Identifizierung von Elementen (qualitative Analyse) und Elementhäufigkeiten (quantitative Analyse) in einem Punkt oder Bereich einer festen Probe unter Verwendung eines Festkörperdetektors (energiedispersiver Detektor). Dieser sammelt und zählt alle emittierten Röntgenstrahlen auf einmal und sendet die Energie und Anzahl eines bestimmten Photonentyps in einen geeigneten Energiekanal. Alle Röntgenenergien von 0 bis 25 keV werden gleichzeitig gesammelt und als Energiespektrum dargestellt, in welchem die charakteristischen Röntgenlinien der vorhandenen Elemente angezeigt werden (Ausschnitt aus einem Energiespektrum siehe Abbildung).