Bildgebung
Sekundärelektronen- (SE), Rückstreuelektronen- (BSE), charakteristische Röntgen- und Kathodolumineszenzsignale (CL) werden verwendet, um Bilder unterschiedlichem Informationsgehalt zu erzeugen. Durch Bewegen des Elektronenstrahls oder der Probe können Bilder erzeugt und digital erfasst sowie verarbeitet werden. Sie können entweder in Graustufen oder in Falschfarben angezeigt werden, abhängig von der jeweiligen Fragestellung.
Elektronenbilder
SE-Bilder liefern topografische Informationen von der Probenoberfläche. Die räumliche Auflösung für die SE-Bildgebung beträgt ungefähr 100 bis 200 nm, abhängig von der Beschleunigungsspannung, dem Strahlstrom und anderen Betriebsbedingungen. Häufige Anwendungen sind Untersuchungen der Kornmorphologie, Niederschlägen auf Mineraloberflächen, Mikrofossilien, biologische sowie anthropologische Proben und andere Materialien, die für die Licht-Mikroskopie zu klein sind.